半球谐振子离子束修调加工设备 实验室设备
半球谐振子离子束修调加工设备 实验室设备 缩略图1
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半球谐振子离子束修调加工设备 实验室设备 缩略图3

半球谐振子离子束修调加工设备 实验室设备

品牌:禾怡 型号:HRG-IBT-01
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技术参数

半球谐振子离子束修调加工设备(国产/西安精谐科技)

定位:专为半球谐振陀螺(HRG)核心部件——半球谐振子设计的高精度离子束修调设备,实现原子级无应力材料去除,降低频率裂解,提高品质因数。

一、核心特点

  • 双真空腔设计:主真空腔体(加工)+ 辅助真空腔体(检测),避免加工热效应对检测的干扰
  • 插板阀隔离:两腔体间通过插板阀控制连通,可独立抽真空
  • 精密夹持机构:支撑台+夹头设计,与谐振子内锚柱配合安装
  • 旋转驱动:第一驱动件驱动夹持机构旋转,带动谐振子旋转
  • 水平移动:副工作平台可水平运动,带动谐振子进出主真空腔体

二、技术参数

参数规格
适用谐振子直径φ15 ~ φ60 mm
壁厚范围0.3 ~ 1.0 mm
离子束中心轴与谐振子中心轴同一水平面
真空腔结构主腔+辅助腔+插板阀
夹持方式内锚柱配合夹持
旋转控制精密旋转驱动
水平移动副工作平台精密位移

三、工艺流程

  1. 质量评估:根据需要去除的质量数值确定离子源加工工艺参数
  2. 可行性判断:判断谐振子是否可通过离子束加工达到目标要求
  3. 装夹定位:将谐振子移动至主真空腔体,夹持固定
  4. 离子束加工:开启离子源,对需要去除质量区域进行加工
  5. 检测验证:移动至辅助真空腔体,关闭插板阀,进行振动信号检测
  6. 迭代优化:根据检测结果,决定继续加工或完成修调

四、技术创新

  • 双腔设计:加工和检测分离,避免热干扰,提高检测精度
  • 连续真空:无需多次破真空,提高生产效率
  • 精密工装:离子束刻蚀工装二次约束,防止反溅,控制刻蚀精准度
  • 套筒设计:第一套筒+第二套筒结构,有效隔离多余离子束

五、应用领域

  • 半球谐振陀螺(HRG)谐振子精密修调
  • 石英 MEMS 器件加工
  • 精密惯性传感器制造
  • 航空航天高精度陀螺仪

六、核心优势

  • 高精度:原子级无应力材料去除
  • 低废品率:双腔设计避免热干扰,提高成品率
  • 高效率:无需多次抽真空,连续加工检测
  • 精准控制:套筒约束设计,刻蚀精度高
  • 国产自主:自主知识产权,技术可控

产品核心优势

卓越的性能表现

采用最新一代数字信号处理技术,提供更高的采样率和带宽,确保测量结果的准确性和可靠性。先进的噪声抑制算法让您能够捕获更细微的信号细节。

先进的触发系统

支持多种触发模式,包括边沿触发、脉宽触发、斜率触发、视频触发等,满足各种复杂信号的捕获需求。

丰富的测量功能

内置超过30种自动测量功能,包括电压、时间、频率、相位等参数的一键测量,大大提高工作效率。

智能软件分析

配备专业的PC端分析软件,支持远程控制、数据采集和高级分析功能,方便进行数据后处理和报告生成。

人性化操作界面

10.1英寸高清电容触摸屏,配合直观的用户界面设计,让操作更加简单流畅,大幅提升使用体验。

广泛应用领域

消费电子

广泛应用于手机、平板电脑、智能穿戴设备等消费电子产品的研发、生产和质量检测,确保产品性能符合设计要求。

汽车电子

用于汽车电子控制系统、传感器、车载通信等领域的测试与验证,保障汽车电子系统的稳定性和安全性。

通信与物联网

支持无线通信模块、物联网设备、射频电路等的测试,确保通信质量和数据传输的可靠性。

教育与科研

是高校实验室、科研机构进行电子工程教学和科学研究的理想工具,帮助培养创新型工程技术人才。

航空航天与国防

满足航空航天和国防领域对高精度、高可靠性测试设备的严苛要求,保障关键系统的正常运行。

专业技术支持

我们提供的服务

  • 免费安装调试:专业工程师上门安装、调试和操作培训
  • 三年整机质保:非人为损坏免费维修或更换
  • 终身维护服务:超过质保期仅收取成本费用
  • 24小时技术热线:随时解答您的技术疑问
  • 定期校准服务:提供专业的计量校准服务
  • 软件升级服务:终身免费固件升级

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